| 产品特性：国内总代 | 加工定制：是 | 品牌：EVG |
| 型号：EVG?20 红外线检查系统 | 用途：快速检查键合晶圆叠层的空隙 | 订货号：111111 |
| 货号：111111 | 别名：EVG?20 红外线检查系统 | 规格：EVG?20 红外线检查系统 |
| 是否跨境货源：否 |
EVG?20 IR Inspection System
EVG?20 红外线检查系统
快速检查键合晶圆叠层的空隙
特征
EVG20提供了一种快速检查方法，尤其是对于熔融粘合晶圆。 整个晶片的实时图像通过IR传输支持半径小于0.5 mm的空隙检测。 红外检测系统非常适合作为单独的EVG20工具或作为EVG集成粘合系统中的工作站的熔合工艺。
特征
实时成像
一次性检查整个晶圆
可选的粘结销，用于实时可视化直接粘结
Maszara测试兼容
空隙尺寸检测小至0.5 mm半径
