| 产品特性：国内总代 | 加工定制：是 | 品牌：EVG |
| 型号：EVG 计量系统Metrology Systems | 用途：EVG 计量系统Metrology Systems | 订货号：111111 |
| 货号：111111 | 别名：EVG 计量系统Metrology Systems | 规格：EVG 计量系统Metrology Systems |
| 是否跨境货源：否 |
Metrology Systems 计量系统
计量对于控制，优化并确保半导体制造过程中的产量至关重要。 通过实施反馈循环，可以启用过程控制和过程参数校正，从而可以满足更严格的过程要求。
EVG的度量衡解决方案针对光刻和所有类型的粘合应用进行了优化，并使用无损测量方法。 客户可以选择将计量技术集成到全自动过程设备中，也可以选择服务于多个过程步骤的独立计量系统。
EVG?20
红外线检查系统
快速检查键合晶圆叠层的空隙。
EVG?40NT
自动化测量系统
适用于键合和光刻的多功能，高精度度量衡。
EVG?50
自动化计量系统
适用于键合叠层和单晶片的高通量，高分辨率度量衡。
