| 产品特性：清洗 | 加工定制：是 | 品牌：trymax |
| 型号：NEO 3400 | 用途：等离子去胶 |
? 北京亚科晨旭科技有限公司成立于1998年
? 业务领域：半导体前道设备、微电子封装设备、电装设备
? 公司宗旨：专业服务?全面服务
Trymax 等离子系统,等离子清洗机，等离子去胶机,等离子活化机 Trymax NEO 3000 Series 3000自动系列
应用范围：
半导体工艺活化、去胶、清洗等
产品主要特点：
灵活性强，拥有8/12寸设备供选择，同时又可以提供半自动和全自动设备
稳定低温活化、清洗工艺
发射源选择性强，总共提供四种不同的发射源
稳定成熟的低温工艺
? 特征
- 高达300毫米晶圆尺寸/基板尺寸
- 2或3台SMIF
- 5轴双臂机械手
- 选择4个不同的流程模块：
?微波
?RF
?双源（微波，射频）
?DCP（RF，直接耦合等离子体）
- 优异的均匀性和重复性
- 产能> 300wph
- 占地面积小
- 基于Windows的工业计算机
