| 加工定制：是 | 品牌：trymax | 型号：NEO3000 |
| 用途：等离子去胶 | 订货号：111111 | 货号：111111 |
| 别名：干法清洗 | 是否跨境货源：否 |
NEO3000产品系列是Trymax半导体设备***的NEO系列***等离子灰化和蚀刻产品的***成员之一。
它可以满足产量，适应每个生产阶段和预算。 NEO 3000系统可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块，并与直径达300mm的基板兼容。小尺寸和模块化设计可根据您的需要灵活配置。
?特征
- 300毫米晶圆尺寸/基板尺寸
-2或3个SMIF装载机
-5轴双臂机器人处理
-4个不同的处理模块：
?下游微波（2.45 GHz）
?射频偏压（13.56MHz）
?双源（微波，射频偏压）
?DCP（RF偏置，直接耦合等离子）
- 优异的均匀性和可重复性
- 机械吞吐量> 220wph
- 紧凑的足迹
- 非常低的拥有成本
- 完全数字控制，Devicenet以太网
- 基于窗口的工业计算机
?应用程序
- 阻挡条带
-Descum处理
- 去除聚合物
- 邮寄高剂量植入带
- 氮化硅蚀刻应用
-MEMS应用程序
- 封装加工（PR，PI，BCB，PBO）
