| 加工定制：是 | 品牌：trymax | 型号：NEO 3400 |
| 用途：等离子去胶 | 订货号：111111 | 货号：111111 |
| 别名：干法清洗 | 是否跨境货源：否 |
NEO2400系列是Trymax半导体设备***的NEO系列***等离子灰化和蚀刻产品的***成员之一。
NEO 2400系统可配置任何现有的处理模块，并与直径达200mm的基板兼容。
?特征
- 200mm晶圆尺寸/基板尺寸
-4个集成的SMIF索引器或4个开放式卡带站
-4轴双臂机器人用横臂搬运
- 可选的冷却站和切口对准器
-2或4个处理室
-4种不同的处理室技术：
?下游微波（2.45 GHz）
?RF偏压（13.56 MHz）
?双源（微波，射频偏压）
?DCP（RF偏压，直接耦合等离子）
- 优异的均匀性和可重复性
- 机械吞吐量> 300wph
- 紧凑的足迹
- 非常低的拥有成本
- 完全数字控制的Devicenet，以太网
- 基于窗口的工业计算机
?应用程序
- 阻挡条带
-Descum处理
- 去除聚合物
- 邮寄高剂量植入带
- 氮化硅蚀刻应用
-MEMS应用程序
- ***的包装加工（PR，PI，BCB，PBO）
