| 加工定制：否 | 品牌：sentech | 型号：SENpro |
| 测量范围：0.1 nm - 10,000 nm | 测量精度：0.1 ? for 100 nm SiO2 on Si | 分辨率：5 |
| 电源电压：220V | 用途：可变入射角光谱椭偏 |
SENpro 是全新的经济型光谱椭偏仪的代表, 操作简易, 多角度或单角度入射快速测量并分析数据。
SENpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱，并同椭偏测量数据结合分析。
使用补偿器，可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。
SENpro 带有光谱椭偏仪分析软件 SpectraRay LT ，可对系统硬件控制和数据分析，如测量数据、建模、拟合和输出结果。
主要应用:
测量透明薄膜的厚度和折射率（厚度范围0.1 nm - 10,000 nm），可工作于透明或吸收基底。
测量多层膜
分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜
测量光刻胶的光学常数
分析有机薄膜
测量各向异性材料和薄膜
