| 产品特性：EBL | 是否进口：否 | 产地：美国 |
| 加工定制：是 | 品牌：美国RAITH | 型号：VOYAGERTM |
| 产品适用范围：大学和研究中心 | 测量范围：111 | 电源：111 |
| 工作电压：220V | 外形尺寸：111 | 重量：111kg |
专业电子束曝光系统
快速、智能、创新、经济！
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Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构。
系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作，***的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致。
系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标，可***大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩，即使在稍差的实验室环境下，仍然能确保系统具有非常好的热稳定性，提高系统对外界环境的容忍度。
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00001. 从最初设计到样品制备完成，实现高速样品加工，提高产量
00002. 智能设计：设备占地面积小，且集成环境屏蔽罩
00003. 创新的、未来安全型系统架构
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Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计，该技术适用于研发及批量生产的所有工作。
VOYAGER 应用
· Raith GmbH, Dortmund">
HSQ胶上制作亚7nm线条
