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德国centrotherm E2000-大批量生产的卧式炉

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德国centrotherm E2000-大批量生产的卧式炉

centrothermE2000专为大批量生产而设计，支持多种工艺能力，适用于大批量生产和高工艺性能的用户，并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性，并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管

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产品特性：SiC炉	加工定制：是	品牌：德国centrotherm
类型：卧式炉

centrotherm 2000专为大批量生产而设计，支持多种工艺能力，适用于大批量生产和高工艺性能的用户，并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性，并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管

特点：

适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
***的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计，便于在洁净室安装调试

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