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EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB
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EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB

EVG805DB是一款半自动的解键合设备,用于将已加工完成的薄器件片从硅、蓝宝石或其它材料的承载片上分离。根据临时键合中间材质的不同,可使用不同的分离方法,如热解、滑移,剥离,紫外活化等。EVG805DB还可以匹配EVG的技术模块EZD,使硅片可以在室温下解键合。

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  • 地   址:
    北京 朝阳区 酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
加工定制:否品牌:EVG电源电压:220V
功率:20W铝丝直径:76μm外形尺寸:900 X 800 X 1700mm
重量:200kg规格:EVG 805DB

EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB


EVG805DB是一款半自动的解键合设备,用于将已加工完成的薄器件片从硅、蓝宝石或其它材料的承载片上分离。根据临时键合中间材质的不同,可使用不同的分离方法,如热解、滑移,剥离,紫外活化等。EVG805DB还可以匹配EVG的技术模块EZD,使硅片可以在室温下解键合。

 

二、应用范围

EVG805DB是一款主要用于薄基片加工领域键合分离设备。广泛应用于存储器,CMOS,3D-TSV,功率器件(如IGBTs),化合物半导体(如高亮度LEDs或RF功率放大器),以及其它新型需要薄片加工的领域(如MEMS,RFID-tags,柔性显示器等)。


三、主要特点

半自动工工艺处理

菜单控制

工艺参数实时监控

不同的卡盘设计用以支持不同规格的基片(300mm)

单独薄载片用以承接分离的器件基片

不同的解键合方法: 滑开,掀开,edge zone debond (EZD? ), UV 辅助分离


手机号:18600406248

qq:409152617


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