加工定制:是 | 品牌:美国DENTON | 型号:磁控溅射系统Discovery |
用途:镀膜 | 别名:磁控溅射系统 | 规格:磁控溅射系统Discovery |
美国丹顿真空设备有限公司是世界知名真空镀膜设备制造商,成立于1964年。丹顿是美国军方签约的设备供应商,为美国军品研发和制造提供真空镀膜设备。作为美国***“***”企业,丹顿真空以设备的实用性和可靠性见长。目前,丹顿真空已为全球客户设计制造了总数超过5千台的各种规格的电阻/电子束蒸发、磁控溅射、离子束溅射/刻蚀和等离子体化学气相沉积镀膜系统,产品广泛应用于科研开发、小规模制造和工业生产等领域。
丹顿真空的Discovery系列在世界许多***的研究机构得到广泛的应用,是业内公认的灵活、可靠的磁控溅射系统。从15年前开发以来,该系统已经销售超过100台,在国内销售12台。Discovery?系列适合于研发及小批量生产。系统采用独特的共焦溅射结构,能够使用较小的磁控溅射靶枪在较大的面积的工件上得到较好的均匀性(例如:采用传统的垂直溅射方式,为了在6英寸工件上得到±5%的均匀性,需要使用8英寸直径靶枪,而采用共焦溅射方式,则可以采用3英寸磁控溅射靶枪,即可达到同样的均匀性指标)。因此在同样的要求下,采用的靶枪及电源相对较小,所以能够降低设备成本及运行成本,同时,丹顿真空也提供传统的垂直溅射方式系统。